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鍍膜上下料設(shè)備

多年來，二所立足自主裝備，與產(chǎn)業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

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產(chǎn)品描述
詳細參數(shù)

用于光伏電池鍍膜工序。將經(jīng)過管式PECVD工藝處理后的石墨舟內(nèi)的硅片自動化取出裝籃，并將沒經(jīng)過工藝處理的硅片自動化裝入石墨舟。降低人工強度及碎片率，減少人工接觸硅片，有效提升成品率和轉(zhuǎn)換率。
設(shè)備兼容：18X±0.5mm*18X±0.5mm至230±0.5mm*230±0.5mm；單晶硅片，方片/準方片/矩形片；

基于硅片尺寸182*182至182*192單臺產(chǎn)能：≥8000 Pcs/H

基于硅片尺寸182*193至182*21X單臺產(chǎn)能:≥7800 Pcs/H

基于硅片尺寸2X0*2X0單臺產(chǎn)能:≥6800 Pcs/H

基于硅片尺寸182*182至182*192碎片率：≤0.02%（不含爐碎）；

基于硅片尺寸182*193至182*21X碎片率：≤0.03%（不含爐碎）；

基于硅片尺寸2X0*2X0碎片率：≤0.03%（不包含爐碎）。

自動化導致的返工率要求:≤0.03%。

設(shè)備外形尺寸（長*寬*高）：不超過12.8m*2.6m*3m。

機器人吸盤模組單片之間精度:0.001mm

整機精度：0.025mm

品質(zhì)要求：吸盤印、劃傷、崩邊、皮帶印、石墨舟擦傷、舟印、隱裂或因傳輸不穩(wěn)定造成的異常不良等不良片，單工序總不良率低于：≤0.03%

吸盤片材質(zhì)選用較輕的碳纖維，相對于鋁合金少1Kg，機器人運行更快、更穩(wěn)；

吸附組通過激光測距傳感器檢測校準，具有超高精度

中國電子科技集團公司第二研究所成立于1962年，是我國以智能制造、微電子裝備及應用、碳化硅裝備及應用、新能源裝備及應用等產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)的骨干單位。多年來，二所立足自主裝備，與產(chǎn)業(yè)融合，形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統(tǒng)集成的能力。

二所是科技部“國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心（山西）”、科技部“國家科技合作基地”、工信部“智能制造試點示范”、國防科工局“軍用微組裝技術(shù)創(chuàng)新中心”、山西省“寬禁帶半導體制備重點實驗室”、山西省“微組裝工程技術(shù)研究中心”、山西省“微電子智能制造裝備創(chuàng)新中心”等的主建和依托單位。近年來，獲得國家、省部級獎項11項。

站在新的歷史起點，二所將以人工智能和半導體技術(shù)為核心，強化以軍為本、以民為主的創(chuàng)新鏈和以裝備為本、以應用為主的產(chǎn)業(yè)鏈，實施智能制造、微電子、SiC和新能源產(chǎn)業(yè)躍升計劃，不斷提升核心競爭力和盈利能力，形成良好可持續(xù)的高質(zhì)量發(fā)展態(tài)勢。

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